要闻：世界首发16×16单元型MEMS非接触式温度传感器

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欧姆龙株式会社(总公司:日本京都市下京区； 董事长:山田义仁)宣布，欧姆龙完成了世界首款※应用晶片级真空密封技术的红外线传感器的开发，开发了能够在90度的大视场范围内进行高精度区域温度检测的16x16单元型非接触温度传感器，预定于年10月开始销售样品。

近年来，人们对家庭和办公室的节能意识不断提高，为了节能、实现舒适生活的智能家居和必要场所所需亮度的照明，兼顾节能和舒适性

人感传感器一般使用的热电传感器无法检测静止的人物，因此难以检测人数和人物的位置。 因此，欧姆龙推出了可检测静止人物、具有90度宽视野范围、可进行高精度区域温度检测的人感传感器16×； 是16芯型的mems非接触式温度传感器。

mems非接触式温度传感器通过应用mems技术的热电堆将目标物体发出的红外能量转换为热能，并将其转换为两种金属触点之间的温差所形成的热电动势 但是，由热电堆转换的热能大部分通过空气散热，因此金属触点之间难以形成较大的温差，热电动势变小，无法提高灵敏度。 / br///h///br// h /这次，世界上首次成功地将热电堆真空密封在芯片内。 使用真空封装时，热电堆转换的热能不会释放到空气中，可以增大金属触点间的温度差，实现更高的灵敏度。

今后，将与用于检测人数和人物所在位置的算法和非接触式温度传感器组合，作为单元化的人体传感器，努力实现商品化。

配备该非接触式温度传感器的人感传感器展品将于7月3日(周三)至5日(周五)在日本东京big sight举办的nano micro biz (原 产业技术综合开发机构nedo ( newenergyandindustrialtechnologydevelopmentorganization )的共同研究工作取得了成果。

※根据本企业的调查，截至去年5月29日。 作为mems非接触式温度传感器。 / br// h// br// h /■优势/ br// h// br// h// h// h// h/& # 33； 使用热电堆的方法，可以检测出热电堆无法检测的静止人物，最适合人感传感器。 / br// h///br// h/& # 12539； 通过使用256个像素( 16×； 16单元)的二维区域温度检测，提高人物所在位置的检测精度。 / br// h///br// h/& # 12539； 在90度的宽视野下，可以检测大范围的区域温度。 例如，可以用1个传感器检测需要安装4个45度视野立场的传感器的区域。 / br// h///br// h/& # 12539； 由于能够实现4帧/秒(帧速率:每秒的画面输出次数)的高速温度输出，因此能够检测出以1.0米/秒的速度移动的人物。 / br// h// br// h /■传感器外观/ br// h// br// br// h /传感器的外观。

/ br// h// br// h /■选择主要规格/ br// h// br// br// h /。 h/]
■由于非接触式温度传感器的检测原理

种金属接点间的温差引起的热电动势，导致塞贝克效应。 将以n型多晶硅、p型多晶硅和铝为材料的热电偶串联制成热电堆。 通过在薄膜上形成一个金属接点(温接点)，在热传导性强的多晶硅上形成另一个金属接点(冷接点)，提高了能量效率。 通过使用真空封装，热电堆转换的热能不会释放到空气中。 / br// h /

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